佳能押注纳米压印技术 价格比阿斯麦EUV光刻机“

本文摘自网易IT，原文链接：https://www.163.com/tech/article/IIRJ22GU00097U7T.html，侵删。

11月6日消息，日本佳能一直在投资纳米压印（Nano-imprintLithography，NIL）这种新的芯片制造技术，并计划将新型芯片制造设备的价格定在阿斯麦最好光刻机的很小一部分，从而在光刻机领域取得进展。纳米压印技术是极紫外光刻（...[阅读更多]

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