工厂突发火灾 ASML确认EUV光刻机生产受影响、DUV没事


本文摘自太平洋电脑网,原文链接:https://news.pconline.com.cn/1479/14793584.html,侵删。

       全球半导体产能紧张持续一年了,芯片扩产需要包括光刻机在内的重要设备,结果前几天全球最大光刻机巨头 ASML 在德国的工厂遭遇火灾, 官方表示还要几天才能评估损失 ,但是现在可以确定主要是 EUV 光刻机生产会受影响。

        ASML 旗下的这家公司位于德国柏林,前身是 Berliner Glas , ASML 公司 2020 年才收购了这家公司,它们的营收额并不高,但生产的是光刻机中的一种重要部件,可以用于光刻机及晶圆之间的接口,需要有纳米级别的操作精度,可以说是小而精了。

        根据 ASML 的消息, 虽然评估是否影响今年的光刻机交货还有点早,但这次事件影响的主要是 EUV 光刻机生产, DUV 光刻机不受影响。

        EUV 光刻机是生产 7nm 以下工艺的关键设备, ASML 是全球唯一的 EUV 光刻机供应商,每台售价 1 亿欧元,将近 10 亿人民币,去年交付了 35 台 EUV 光刻机,今年计划交付 55 台 EUV 光刻机,三星、台积电Intel 是主要的客户。

工厂突发火灾 ASML确认EUV光刻机生产受影响、DUV没事

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